ION Beam System
이온 빔은 중성 상태의 가스를 양전하와 음전하로 혼재되어져 있는 플라즈마 상태로 만들고, 여기에 전위차나 압력차와 같은 외부적인 환 경을 조성하여 추출하는 이온들의 흐름을 말하며, 이러한 이온 빔을 생성하고 만들어내는 장치를 이온 소스라 함
이온 빔은 중성 상태의 가스를 양전하와 음전하로 혼재되어져 있는 플라즈마 상태로 만들고, 여기에 전위차나 압력차와 같은 외부적인 환 경을 조성하여 추출하는 이온들의 흐름을 말하며, 이러한 이온 빔을 생성하고 만들어내는 장치를 이온 소스라 함